測量

范圍

Z軸(垂直)

640μm (-320μm~320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)

X軸(水平)

17.5mm（0.69 inch）

分辨率

Z軸

（垂直）

0.002μm/±20μm

0.004μm/±40μm

0.008μm/±80μm

0.020μm/±160μm

0.040um/±320um

測量

項目

參數(shù)

Ra    Rz  Rq  Rt    Rc  Rp  Rv    R3z  R3y  Rz(JIS)    Ry  Rs  Rsk    Rku  Rmax  Rsm     Rmr  RPc  Rk    Rpk  Rvk  Mr1    Mr2

標(biāo)準(zhǔn)

ISO4287國際標(biāo)準(zhǔn)；ANSI B46.1美國標(biāo)準(zhǔn)；

DIN4768德國標(biāo)準(zhǔn)；JIS B601日本標(biāo)準(zhǔn)

圖形

支承率曲線，粗糙度 原始輪廓，濾波波形

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n      n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

觸針測力：4mN；導(dǎo)頭測力：<400mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s    lr=0.8,      Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,     Vt=1mm/s        返回      Vt=1mm/s

示值精度

0.001μm

示值誤差

±(5nm+0.1A)         A:多刻線樣板參數(shù)Ra的標(biāo)準(zhǔn)值

示值重復(fù)性（變動性）

不大于3%

殘余輪廓

不大于0.010μm

電源及充電電壓

3600mAh鋰離子電池，

主機外形尺寸

155×145×58mm

驅(qū)動器外形尺寸

23×27×115mm

支架可調(diào)高度

40mm

重量

約1000g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃   ~  40℃     濕度：< 90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：< 90% RH

可選配件

磁性表座、表座連接塊、高度尺、高度尺連接塊，曲面?zhèn)鞲衅鳌⑿】讉鞲衅?、深槽傳感器、極小孔傳感器、延長桿、轉(zhuǎn)接桿、微型打印機、200mm測量平臺、300mm大理石測量平臺，數(shù)傳處理軟件，手機APP